Guía del usuario de elipsometría

Opiniones de los lectores

El libro goza de gran prestigio entre los usuarios por su clara introducción a la elipsometría, que proporciona conocimientos prácticos y perspectivas especialmente beneficiosas para los principiantes. Incluye conceptos básicos, ecuaciones y estudios de casos, lo que la convierte en una guía completa, aunque se limita a mediciones de una sola longitud de onda.

⬤ Excelente introducción para principiantes en elipsometría.
⬤ Explicaciones claras de conceptos fundamentales y ecuaciones básicas.
⬤ Enfoque práctico que aborda las dificultades experimentales.
⬤ Valiosos estudios de casos para aplicar los conocimientos.
⬤ Buen precio y entrega rápida.

⬤ Limitado a instrumentos de una sola longitud de onda y un solo ángulo.
⬤ No cubre la elipsometría espectroscópica, que es cada vez más común.

(basado en 7 opiniones de lectores)

Título original:

A User's Guide to Ellipsometry

Contenido del libro:

Este texto sobre óptica para estudiantes de posgrado explica cómo determinar las propiedades y parámetros de materiales para sustratos inaccesibles y películas desconocidas, así como la forma de medir películas extremadamente finas. Sus 14 casos prácticos ilustran conceptos y refuerzan las aplicaciones de la elipsometría, especialmente en relación con la industria de los semiconductores y los estudios sobre corrosión y crecimiento de óxidos.

A User's Guide to Ellipsometry permitirá a los lectores ir más allá de las limitadas aplicaciones llave en mano de los elipsómetros. Además de sus exhaustivas discusiones sobre la medición del espesor de la película y las constantes ópticas en la película, también considera las trayectorias de los parámetros elipsométricos Del y Psi y cómo los cambios en los materiales afectan a los parámetros.

Este volumen también aborda el uso del polisilicio, un material empleado habitualmente en la industria microelectrónica, y los efectos de la rugosidad del sustrato. Tres apéndices proporcionan referencias útiles.