Elipsometría Espectroscópica: Aplicación Práctica a la Caracterización de Películas Delgadas

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Título original:

Spectroscopic Ellipsometry: Practical Application to Thin Film Characterization

Contenido del libro:

La elipsometría es una técnica experimental para determinar el espesor y las propiedades ópticas de las películas finas.

Es ideal para películas cuyo espesor oscila entre subnanómetros y varias micras. Las mediciones espectroscópicas han ampliado enormemente las capacidades de esta técnica y han introducido su uso en todos los ámbitos en los que se encuentran las películas finas: dispositivos semiconductores, pantallas planas y móviles, pilas de recubrimientos ópticos, recubrimientos biológicos y médicos, capas protectoras, etc.

Aunque existen varios libros académicos sobre el tema, este libro ofrece una buena introducción a la teoría básica de la técnica y sus aplicaciones más comunes. El público al que va dirigido no es el erudito en elipsometría, sino los ingenieros de procesos y estudiantes de ciencias de los materiales que son expertos en sus propios campos y desean utilizar la elipsometría para medir las propiedades de las películas finas sin convertirse en expertos en elipsometría propiamente dicha.