Epitaxy: Principios físicos y aplicación técnica

Título original:

Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation

Contenido del libro:

De manera uniforme y exhaustiva, los autores describen todos los aspectos importantes de los procesos de crecimiento epitaxial de películas sólidas sobre sustratos cristalinos, por ejemplo, los procesos en los que los átomos de la película en crecimiento imitan la disposición de los átomos del sustrato.

Se hace hincapié en una presentación suficientemente fundamental e inequívoca del tema en forma de revisión de fácil lectura. Una gran parte de este libro se centra en los problemas de la heteroepitaxia.

Se presentan y discuten en detalle las técnicas de crecimiento epitaxial más importantes que actualmente se utilizan ampliamente tanto en la investigación básica como en los procesos de fabricación de dispositivos.