Un perfilómetro óptico para condiciones de vacío ultraalto: diseño, construcción e implementación

Título original:

An Optical Profilometer for Ultra HighVacuum Conditions - Design, Construction, and Implementation

Contenido del libro:

Para comprender nuestro mundo, es esencial conocer las leyes de la naturaleza. A lo largo de los siglos, estas leyes se han ido deduciendo a partir de mediciones, pero aún quedan muchas cuestiones abiertas.

Una de estas cuestiones abiertas es la medición exacta de perfiles en condiciones muy limpias, que aquí se resuelve. Este libro describe en detalle el diseño, construcción e implementación de un perfilómetro óptico que puede medir perfiles de superficie complejos en condiciones de ultra alto vacío. El perfil de la superficie (en vacío) se obtiene escaneando un sensor óptico a través de una ventana.

El instrumento se diseñó con el objetivo de caracterizar obleas de silicio deformadas electrostáticamente. Para doblar las obleas seleccionadas en la forma requerida se necesita un campo eléctrico sintonizable de hasta 25 MV/m.

Para evitar la ruptura eléctrica del campo electrostático se requiere un entorno UHV limpio. Este libro será de interés para científicos, ingenieros y cualquier persona interesada en la medición.