Tecnología de fabricación de circuitos integrados III-V

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Título original:

III-V Integrated Circuit Fabrication Technology

Contenido del libro:

El procesamiento del GaAs ha alcanzado una fase de madurez.

Están apareciendo nuevos compuestos semiconductores que dominarán la investigación futura sobre materiales y dispositivos, aunque las técnicas de procesado utilizadas para el GaAs seguirán siendo relevantes. Este libro cubre todos los aspectos del estado actual de la técnica de procesado de III-V, con énfasis en los HBT.

Está dirigido a ingenieros en ejercicio y estudiantes de postgrado, así como a ingenieros que se inician en el campo del procesamiento de circuitos integrados semiconductores III-V. El propósito principal del libro es discutir todos los aspectos del procesado de dispositivos activos y pasivos, desde el crecimiento del cristal hasta el procesado de la cara posterior, incluyendo litografía, grabado y deposición de películas.