Sistemas microelectromecánicos - Materiales y dispositivos III: Volumen 1222

Título original:

Microelectromechanical Systems-Materials and Devices III: Volume 1222

Contenido del libro:

El desarrollo de materiales y procesos avanzados puede permitir la creación de microsistemas (MEMS) con mayor funcionalidad y mejores prestaciones y fiabilidad. Estas consideraciones son cada vez más importantes a medida que los MEMS realizan la difícil transición de los laboratorios de investigación a la comercialización en toda regla.

Del mismo modo, los diseñadores de MEMS siguen introduciendo nuevos conceptos de dispositivos y arquitecturas de sistemas que motivan estudios fundamentales sobre el comportamiento de los materiales a escalas de longitud micrométrica y nanométrica. En conjunto, esta colección de artículos constituye un recurso útil para la creciente comunidad de científicos e ingenieros que trabajan en la intersección de la ciencia de los materiales y los microdispositivos. En primer lugar, se centra en el desarrollo de materiales avanzados específicos para la detección y la actuación.

La Sección Dos presenta estudios fundamentales del comportamiento mecánico de estructuras a microescala y nanoescala. La Sección Tres presenta nuevos materiales y procesos que pueden influir potencialmente en el desarrollo de muchos tipos nuevos y diferentes de MEMS.