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Título original:
Focused Ion Beam Systems: Basics and Applications
Contenido del libro:
El sistema de haz de iones focalizado (FIB) es una herramienta importante para comprender y manipular la estructura de los materiales a nanoescala.
Combinando este sistema con un haz de electrones se crea un DualBeam, un único sistema que puede funcionar como herramienta de imagen, análisis y modificación de muestras. Este volumen editado, publicado por primera vez en 2007, presenta los principios, las capacidades, los retos y las aplicaciones de la técnica FIB y cubre de forma exhaustiva la tecnología de haces de iones, incluido el DualBeam.
Se abordan los principios básicos de los sistemas de haces de iones y de dos haces, su interacción con los materiales, el grabado y la deposición, así como la caracterización de materiales in situ, la preparación de muestras, la reconstrucción tridimensional y las aplicaciones en biomateriales y nanotecnología. Dado que los materiales nanoestructurados adquieren cada vez más importancia en los dispositivos micromecánicos, electrónicos y magnéticos, esta revisión autocontenida de la gama de métodos de haces de iones, sus ventajas y el mejor momento para aplicarlos constituye un valioso recurso para los investigadores en ciencia de materiales, ingeniería eléctrica y nanotecnología.
