Química de la deposición de capas atómicas

Título original:

Chemistry of Atomic Layer Deposition

Contenido del libro:

Este libro ayudará a químicos y no químicos por igual a comprender los fundamentos de la química de superficies y el diseño de precursores, y cómo estos precursores impulsan los procesos de deposición de capas atómicas, y cómo la interacción superficie-precursor rige los procesos de deposición de capas atómicas.

Los principios subyacentes en la deposición de capas atómicas se basan en la química de un precursor con una superficie.