Metrología de deformación de semiconductores: Principios y aplicaciones

Título original:

Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications

Contenido del libro:

Este libro examina las principales técnicas de metrología de deformación de semiconductores, así como las desarrolladas recientemente.

La metrología de deformación de semiconductores ha surgido en los últimos años como un tema de gran interés para los investigadores que trabajan en la caracterización de dispositivos de nanoescala y de película fina. Este libro emplea un enfoque tutorial para explicar los principios y las aplicaciones de cada técnica, específicamente diseñado para estudiantes de postgrado e investigadores postdoctorales.

Los temas seleccionados incluyen técnicas ópticas, de haz de electrones, de haz de iones y de rayos X sincrotrón. A diferencia de referencias anteriores, este libro trata específicamente la metrología de deformación aplicada a dispositivos semiconductores con profundidad y enfoque.