Manual de tecnología de semiconductores de silicio

Título original:

Handbook of Semiconductor Silicon Technology

Contenido del libro:

Este manual es un resumen exhaustivo de la ciencia, la tecnología y la fabricación de materiales semiconductores de silicio. Se detallan todas las propiedades conocidas del silicio.

Se incluye un conjunto completo de diagramas de fases binarias. También se tratan en profundidad aspectos prácticos como la manipulación de materiales, la seguridad y la reducción de impurezas y defectos. Los fundamentos en las áreas de compuestos precursores de silicio, polisilicio, crecimiento de cristales de silicio, fabricación de obleas, deposición epitaxial y CVD son abordados por expertos en estos campos.

Entre las propiedades de los materiales tratadas figuran las eléctricas, ópticas y mecánicas, las impurezas de nivel profundo y el tiempo de vida de los portadores, y la termoquímica, así como secciones específicas sobre impurezas de oxígeno, carbono y nitrógeno. El libro contiene un amplio conjunto de referencias, tablas de constantes de materiales y propiedades del silicio, y una presentación sobre el estado del arte de la fabricación de materiales.