Manual de elipsometría

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Título original:

Handbook of Ellipsometry

Contenido del libro:

El Manual de elipsometría es un texto fundamental sobre un tema cada vez más crítico. La elipsometría, una técnica de medición basada en los cambios de fase y amplitud de la luz polarizada, se está popularizando en un abanico cada vez más amplio de aplicaciones debido a la creciente miniaturización de los circuitos integrados y a los grandes avances en el conocimiento de las macromoléculas biológicas derivados de la investigación del ADN y de las superficies proteicas.

La elipsometría no entra en contacto con las muestras ni las daña, y es una técnica de medición ideal para determinar las propiedades ópticas y físicas de los materiales a escala nanométrica. Con la aceleración de nuevos instrumentos y aplicaciones que se está produciendo en la actualidad, este libro proporciona una base esencial de la ciencia y la tecnología actuales de la elipsometría para científicos e ingenieros de la industria y el mundo académico a la vanguardia de los avances nanotecnológicos en instrumentación, circuitos integrados, biotecnología y productos farmacéuticos.

Dividido en cuatro partes, este completo manual abarca la teoría de la elipsometría, la instrumentación, las aplicaciones y las áreas emergentes. Expertos en la materia han contribuido a sus doce capítulos, que cubren diversos aspectos de la elipsometría.