Fundamentos de los sistemas microelectromecánicos (Mems)

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Título original:

Fundamentals of Microelectromechanical Systems (Mems)

Contenido del libro:

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Una guía completa de ingeniería, fabricación y aplicaciones de MEMS.

Esta completa guía de ingeniería muestra, paso a paso, cómo incorporar la tecnología microelectromecánica (MEMS) de vanguardia para habilitar la funcionalidad del Internet de las cosas (IoT) y la inteligencia artificial (IA) en sus diseños. Escrito por un pedagogo experimentado y experto en microelectrónica, Fundamentos de los sistemas microelectromecánicos (MEMS) explica con claridad las últimas tecnologías y métodos. Ejemplos reales, ilustraciones y preguntas y problemas en profundidad refuerzan los temas clave. Los lectores también echarán un vistazo al futuro de los MEMS en el mundo laboral y explorarán la investigación y el desarrollo de los MEMS.

La cobertura incluye:

⬤ Microfabricación básica.

⬤ Micromecanizado.

⬤ Principios de transducción.

⬤ MEMS ópticos y de FR.

⬤ Mecánica y sensores inerciales.

⬤ Propiedades de películas finas y sensores SAW/BAW.

⬤ Sensores de presión y micrófonos.

⬤ Películas piezoeléctricas.

⬤ Propiedades de los materiales expresadas como tensor.

⬤ Sistemas microfluídicos y BioMEMS.

⬤ MEMS de potencia.

⬤ Ruidos electrónicos, circuitos de interfaz y osciladores.