Fundamentos de la micro/nanofabricación

Título original:

Fundamental of micro/nano fabrication

Contenido del libro:

En este libro se describe el proceso de crecimiento de óxido húmedo térmico dependiente de la tensión. La velocidad de oxidación del silicio es función de la orientación del cristal y del ángulo de intersección del plano.

Se describen los procesos de micromecanizado de la superficie del silicio para crear una estructura mecánica independiente y características tridimensionales únicas. Durante la microfabricación hay que tener en cuenta el micromecanizado a granel y el grabado. Se describen un esquema y una micrografía SEM del metal (aluminio) pulverizado sobre una sonda en voladizo piramidal de óxido para formar también una nanoapertura metálica.

El concepto teórico de campo cercano y campo lejano se explicó con la ayuda de un conjunto de cantilevers NSOM triangulares y rectangulares fabricados con una sonda NSOM. Con el fin de reducir el nivel de ruido y la alta transmisión óptica a través de la sonda, la sonda en voladizo NSOM diseñada tiene Si a granel debajo de la sonda.

Para caracterizar los principales componentes de los voladizos, se han tenido en cuenta la transmisión óptica a través de la sonda NSOM y la frecuencia de resonancia. La frecuencia de resonancia de los voladizos varía con sus dimensiones.

La transmisión óptica se mide a través de la abertura de la sonda NSOM cantilevers.