Título original:
Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
Contenido del libro:
Presenta todas las etapas principales de la fabricación de obleas, desde los cristales hasta las obleas de primera calidad.
En primer lugar, este libro describe la física, la metrología asociada, la modelización de procesos y los requisitos de calidad, para pasar a continuación a analizar las técnicas de conformado y preparación de la superficie de las obleas. El conjunto se completa con un capítulo sobre la investigación y los retos futuros en la fabricación de obleas.
