Dinámica de microsistemas

Título original:

Microsystems Dynamics

Contenido del libro:

Prólogo; Prefacio; Introducción a los microsistemas; Tecnologías de fabricación de microsistemas; Visión general; Tecnología de micromecanizado de superficie de níquel para la fabricación de microinterruptores; Litografía UV para la fabricación de micromotores; Actuadores MEMS comunes; Condensadores de placa paralela; Accionamientos de peine; Micromotores electrostáticos; Microinterruptores electrostáticos; Antecedentes teóricos de las interacciones multifísicas comunes en los microsistemas; Introducción a la modelización de campos acoplados; Actuación electrostática e inestabilidad de arrastre; Amortiguación viscosa del aire; Interacciones vibroimpacto; Pruebas experimentales de la dinámica de microsistemas; Métodos de excitación de vibraciones; Técnicas ópticas para la medición de vibraciones de microestructuras; Estudio de macrosistemas y microsistemas elásticos de vibroimpacto; descripción general de nuevos efectos importantes de la dinámica no lineal en macrosistemas de vibroimpacto; análisis de la dinámica de campo acoplado en microactuadores electrostáticos de contacto; modelado numérico y análisis de la interacción fluido-estructural; modelado numérico y análisis de la interacción electrostática-estructural; Modelado Numérico y Análisis de la Interacción Vibro-Impacto; Análisis Numérico del Micromotor; Modelado por Elementos Finitos del Micromotor; Análisis Modal; Control del Micromotor; Modelo Analítico de un Micromotor; Fundamentos de la Geometría del Micromotor; Análisis del Par; Directrices de Diseño del Micromotor; Referencias.