Descargas de microondas - Teoría y aplicaciones (Plasma Physics Series)

Título original:

Microwave Discharges - Theory & Applications (Plasma Physics Series)

Contenido del libro:

Citando el prefacio, "La mayoría de los autores de este libro son reconocidos especialistas en diferentes áreas de la física, la técnica y el tratamiento del plasma por microondas.

Los temas abarcan todos los problemas de teoría, experimentos y aplicaciones de las descargas de microondas y presentan las tendencias más avanzadas en teoría, modelización y diagnóstico de descargas, métodos de generación de plasma de microondas, descargas de microondas de alta y baja presión, interacción de las microondas con un plasma, aplicaciones del plasma de microondas (tratamiento de superficies, grabado, deposición de películas, crecimiento de estructuras, fuentes de luz, química analítica, etc.). ) Esperamos que este libro sea de utilidad para todos los especialistas que trabajan en física y procesamiento de plasma a baja temperatura.