Aislador de vibraciones activo de seis grados de libertad con motor de bobina móvil

Título original:

Six Degree of Freedom Active Vibration Isolator Using Voice Coil Motor

Contenido del libro:

Los instrumentos de medición de precisión con resolución nanométrica son casi siempre susceptibles a las perturbaciones transmitidas principalmente por las vibraciones del suelo, así como por otras fuentes como el ruido acústico y las vibraciones mecánicas directas.

Aunque el propio instrumento está diseñado para hacer frente a estas perturbaciones, los investigadores de este campo siguen necesitando una forma inteligente de eliminar adecuadamente este problema para que sus resultados de medición sean más fiables. En este libro, la solución propuesta consiste en utilizar un sistema híbrido de aislamiento de vibraciones activo-pasivo entre el instrumento y el suelo para eliminar las vibraciones transmitidas desde el suelo, así como las perturbaciones directas transmitidas desde las partes móviles del instrumento a la placa de soporte de la carga útil en los seis grados de libertad.

La razón de esta solución híbrida es aprovechar tanto la etapa pasiva como la activa. Así pues, esta investigación propone realizar un sistema pasivo activo híbrido de seis ejes que pueda funcionar como un microaislador de vibraciones de sobremesa para instrumentos de medición de precisión, como microscopios de sonda de barrido, así como para algunas etapas de motor lineal de pequeñas dimensiones.