Acelerómetros oscilantes de silicio Mems y circuitos de lectura

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Título original:

Mems Silicon Oscillating Accelerometers and Readout Circuits

Contenido del libro:

La mayoría de los acelerómetros MEMS del mercado actual son acelerómetros capacitivos que se basan en el mecanismo de detección de desplazamiento. Este libro pretende cubrir los desarrollos recientes de los acelerómetros oscilantes de silicio MEMS (SOA), también denominados acelerómetros resonantes MEMS.

A diferencia de los acelerómetros capacitivos, los MEMS SOA se basan en el mecanismo de detección de fuerza, en el que la aceleración de entrada se convierte en una frecuencia de salida. MEMS Silicon Oscillating Accelerometers and Readout Circuits consta de seis capítulos y cubre tanto el sensor MEMS como el circuito de lectura, y proporciona una cobertura en profundidad del diseño y modelado del MEMS SOA con varios prototipos de los que se ha informado recientemente.

El libro no sólo es útil para investigadores e ingenieros familiarizados con el tema, sino también para quienes tengan un interés general en los sensores inerciales MEMS. El libro incluye amplias referencias que proporcionan más información sobre este tema.